微量氧分析儀是一種常用的分析儀器，有便攜式、電化學、在線式多種類型。采用*密封的燃料池氧傳感器是當前上較為先進的測氧方法之一，其核心部分是一個激光檢測裝置，其中的氦氖激光器可以發射一種安全的低功率單波激光到一個氣體測試腔內。由于激光能量微弱，裝置內部通過檢測腔兩端的反射鏡不斷進行反射，將能量放大1000倍左右。光子與氣體分子發生碰撞后發生散射，產生一種不同于激光頻譜的光譜，而且不同分子散射出來的光譜是特定不相同的。
在進行微量氧分析時，由于空氣中氧含量高，如果處理不當易造成對樣品的污染和干擾，出現分析結果數據不正常，一些因素可能會影響微量氧分析儀的測量使用，比如：
1、干擾雜質影響
干擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量未知雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體敏感，如果氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。而微量的還原性氣體對氧化鋯式微氧儀的分析結果產生影響，近又發現微量的N2O對氧化鋯式微量氧分析儀產生影響，所以在檢測時要充分考慮到雜質的存在，選擇恰當的分析儀，才能得到準確的結果。
2、背景氣干擾
如燃料電池式分析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響分析結果。并且少量的氫氣也會對分析結果產生較大的影響。
對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有特殊型式的赫茲電池式氧分析儀才能排除于擾，防止傳感器中毒，給出正確分析數據。其他燃料電池式氧分析儀均不能用于酸性氣體分析。
在管道系統凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進行可迅速凈化氧氣，此處要及時更換過濾器以免損壞設備使用壽命。
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