微量氧分析儀是一種用來進(jìn)行氧氣成分分析檢驗(yàn)的工具，借助它能得到某些成分種類和含量的數(shù)據(jù)。但是，它不是一種簡(jiǎn)單的工具，既不像流量計(jì)、壓力表那樣結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，也不像各種熱工儀表那樣易于操作使用。它是一類結(jié)構(gòu)復(fù)雜、使用技術(shù)難度較大的工具，使用該儀器是一項(xiàng)較復(fù)雜且不易掌握的專門技術(shù)。
微量氧分析儀的核心部分是一個(gè)激光檢測(cè)裝置，其中的氦氖激光器可以發(fā)射一種安全的低功率單波激光到一個(gè)氣體測(cè)試腔內(nèi)。由于激光能量微弱，裝置內(nèi)部通過檢測(cè)腔兩端的反射鏡不斷進(jìn)行反射，將能量放大1000倍左右。光子與氣體分子發(fā)生碰撞后發(fā)生散射，產(chǎn)生一種不同于激光頻譜的光譜，而且不同分子散射出來的光譜是特定不相同的，這就是我們所稱的“拉曼散射光譜”。
檢測(cè)腔內(nèi)壁裝有8個(gè)光學(xué)濾波器和光電傳感器，用來吸收和檢測(cè)不同分子的特定光譜頻率，從而得到8種不同待測(cè)氣體成分含量。根據(jù)這種原理，每種待測(cè)氣體的含量都是通過直接測(cè)量得到的，不需要任何的導(dǎo)算，RLGA的檢測(cè)精度更高，反應(yīng)速度更快。
微量氧分析儀按照光學(xué)系統(tǒng)劃分，可分為雙光路和單光路兩種：
（1）雙光路：從兩個(gè)相同光源或一個(gè)分配的單光源，發(fā)出兩路彼此平行的光束，分別通過分析氣室后和參比氣室后進(jìn)入檢測(cè)器。
（2）單光路：從光源發(fā)出單束紅外光，利用切光裝置將紅外光調(diào)制成不同波長(zhǎng)的光束，輪流通過分析氣室進(jìn)入檢測(cè)器。
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